ИАГ Кристалл
Кристалл YAG (иттрий-алюминиевый гранат, Y₃Al₅O₁₂) — это высокоэффективный-лазерный и оптический материал, известный своей высокой твердостью, высокой теплопроводностью, хорошей химической стабильностью и превосходной оптической однородностью. Он широко используется в твердотельных-лазерах, светодиодных люминофорных подложках, оптических окнах, медицинском лазерном оборудовании и оборонных электро-оптических системах.
Компания Hemei обладает глубоким техническим опытом в области прецизионной обработки твердых и хрупких материалов. Для кристаллов YAG компания Hemei разработала эффективный и стабильный процесс полировки, который обеспечивает полностью контролируемую обработку от грубой до тонкой полировки, гарантируя, что поверхность кристалла YAG соответствует стандартам качества «лазерного-класса» или «оптического-класса».
Требования к приложению
Цели полировки кристаллов YAG включают в себя:
Снижение шероховатости поверхности (Ra) до< 0.5 nm.
Достижение точности фигуры поверхности (значение PV) лучше, чем λ/10 (@632,8 нм).
Обеспечение поверхности,-свободной от повреждений, без под-трещин, что соответствует требованиям к пороговым значениям повреждений, вызванных лазером-.
Контроль однородности толщины (TTV) в пределах определенного микрометрового диапазона.
Для достижения этих целей в процессе Hemei используются специальные системы склеивания и многоэтапные-процедуры полировки, чтобы обеспечить геометрическую точность и целостность поверхности во время обработки.
Характеристики системы
Модульная система полировки Hemei поддерживает обработку кристаллов YAG различных размеров и форм. Основные системы включают в себя:
Притирочное оборудование серии HSM-L/LP: Для первоначального удаления материала и контроля толщины.
Система химико-механической полировки (CMP) серии HSM-CMP: Для достижения сверх-гладких поверхностей,-без повреждений.
Ключевые подсистемы включают в себя:
Специальный связующий элемент пластины/кристалла- (WB)
Прецизионные полировальные приспособления серии SJ/ASJ
C-Высокоскоростная система полировки приводной головки ASJ-
Поток обработки
Склеивание и монтаж: Кристалл YAG временно прикрепляется к опорной пластине с помощью устройства WB, а затем монтируется на приспособление для полировки.
Черновая и промежуточная полировка: На оборудовании HSM-L выполняется контролируемая притирка для удаления слоя повреждений, вызванных обработкой.
Тонкая полировка: Система HSM-CMP выполняет окончательную полировку. Такие параметры, как давление, скорость вращения и расход суспензии, регулируются в реальном-времени для достижения гладкости поверхности нанометрового-уровня.
Типичные результаты
Шероховатость поверхности Ra < 0,5 нм.
Точность измерения поверхности PV Меньше или равна λ/10.
Контролируемая скорость съема материала 1-2,5 мкм/мин.
Подходит для пластин YAG диаметром до 6 дюймов и кристаллов определенной формы.
Компания Hemei предлагает комплексное и надежное решение для полировки кристаллов YAG, способное постоянно обеспечивать качество поверхности-нанометрового уровня и высокие оптические характеристики. Это поддерживает промышленное применение кристаллов YAG в высокотехнологичных областях, таких как лазеры и оптоэлектроника.
